明场晶圆缺陷检测成像系统仿真优化软件 (InspecGo!)

InspecGo! 是一款全国产化的晶圆掩模明场缺陷检测(BFI)成像系统仿真优化软件，用于模拟晶圆缺陷明场检测全过程，通过开展检测灵敏度仿真分析，指导 BFI 设备开发、优化检测配置、完善检测算法、评估检测性能，提高设备研发效率、降低成本并缩短研发周期。